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激光溅射喷镀薄膜计算机控制系统
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激光溅射喷镀薄膜计算机控制系统
适用领域
科学院,有色金属研究院,大学科研课题研究
激光应用 晶体研究 超导物理
型号
JJH-PLDC
系统功能指标
计算机按程序控制基片加热系统的真空炉体温度,使炉体温度按设定程序曲线运行,包括升温段、恒温段、降温段
计算机控制扫描反射镜的旋转和摆动,使激光光束按照特定的轨迹偏转
计算机控制安装在步进电机驱动的行星齿轮末端靶位,实现靶位定时切换
准分子激光器的计算机控制系统,包括脉冲发射启动,停止,激光脉冲发射频率
的激光镀膜计算机控制系统-PLDC应用软件
的硬件控制系统